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電感耦合等離子體發射光譜儀(ICP-AES)主要用于液體試樣(包括化學處理能轉變成溶液的固體試樣)中金屬元素和部分非金屬元素的定量分析。將樣品溶液以氣溶膠形式導入到等離子體炬焰中,樣品被蒸發和激發,發射出所含元素的特征波長的光。經分光系統分光,其譜線強度由光電器件接受并轉變為電信號而被采集。根據元素濃度與譜線強度之間的對應關系,測定樣品中各相應元素的含量。